진공용어
진공용어
2.1 기 초
기체의 표준상태, standard reference conditions for gases
기체론에서 기체의 표준조건을 주는 것으로서 온도
0℃, 압력 101,325 Pa (1 기압 = 760mmHg )의 상태.
진공, vacuum
통상의 대기압보다 낮은 압력의 기체로 채워진 공간
내의 상태.
저진공, low ( rough ) vacuum( LV )
압력 100 Pa이상인 진공
중진공, medium vacuum( MV )
압력 100 ∼ 0.1 Pa인 진공
고진공, high vacuum ( HV )
압력 0.1 ∼ 10 –5 Pa인 진공
초고진공, ultra high vacuum ( UHV )
압력 10 –5∼ 10 –8 Pa 인 진공
극고진공, extreme ultrahigh vacuum ( XHV )
압력 10 –8 Pa이하인 진공
압력, pressure
공간 내의 어떤 점을 포함하는 가상의 극히 작은
평면을 양쪽 방향에서 통과하는 분자에 의해 단위면적
당, 단위시간에 수송되는 운동량의 면에 수직인
성분의 총합. 공간 내에 정상적인 기체의 흐름이
있을 때는 흐름 방향에 대하여 면의 기울기를 규정
한다.
파스칼 pascal
국제 단위계의 압력단위 명칭.
기호 Pa, 1 Pa = 1 N·m- 2
토르, Torr
1 표준기압(101325 Pa )의 760 분의 1
1 Torr = 133.322 Pa
부분압, partial pressure
혼합기체 중의 특정 성분의 압력.
전체압, total pressure
전압 라고도 함. 혼합기체 중 전체 성분 분압의
총합.
기체, gas
겉보기 상, 분자가 분자 사이의 힘에 의하여 운동
의 제한을 받지 않고 공간을 자유롭게 채울 수 있는
상태에 있는 물질.
비고: 진공기술, 진공공업에서는 기체라는 말은 비
응축성 기체 및 증기의 양쪽을 나타낸다.
※
비응축성 기체, non- condensable gas
온도가 그 물질의 임계온도 이상이 되어 있고 압력
의 증가만으로는 응축상으로 변화시킬 수 없는 기체.
증기, vapour, vapor (USA)
온도가 그 물질이의 임계온도 이하로 되어 있고
압력의 증가만으로 응축상으로 변화시킬 수 있는 기체.
포화 증기압, saturation vapour pressure
그 온도에서 응축성과 열역학적 평행에 도달되어
있는 증기가 나타내는 압력.
포화도, degree of saturation
어떤 온도에서 증기의 압력과 그 포화 증기압의 비,
포화 증기, saturated vapour
어떤 온도에서 포화 증기압과 같은 압력을 나타내는
증기.,
불포화 증기, unsaturated vapour
어떤 온도에서 포화 증기압보다 낮은 압력을 나타내는 증기.
기체분자 밀도, number density of molecules
기체분자의 단위체적당 수.
평균 자유행정, mean free path
기체(일반적으로는 입자의 집합계) 속을 자유롭게
움직이며 돌아다니는 입자(분자, 원자, 전자, 이온,
중성자, 등)가 동종 또는 이종입자와 차례로 충돌하는
경우, 계속하여 충돌하는 사이에 입자가 비행한 거리
의 평균.
충돌빈도, collision rate
기체 속을 자유롭게 움직이며 돌아다니는 입자가
단위 시간에 받는 충돌의 평균 횟수.
.체적 충돌빈도, volume collision rate
기체 속에서 일어나는 입자간 충돌의 단위시간,
단위체적당 평균 횟수.
pV 값, quantity of gas
기체의 체적과 압력의 곱. 단위기호: Pa×m3.
확산, diffusion
기체가 매질 중에서 농도 구배에 따라 이동하는 것.
비고 매질은 다른 기체( 이 경우를 상호확산 이라
한다 ) 또는 웅축상 이다.
확산 계수, diffusion coefficient, diffusivity
확산의 분자유량 밀도를 밀도의 구배로 나눈 값.
점성류, viscous flow
기체분자의 평균 자유행정이 도관의 치수보다도
충분히 작을 경우에 일어나는 도관 내의 흐름.
비고 흐름은 기체의 점성에 의존하여 층류 또는
난류로 된다.
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푸아즈이유의 흐름, Poissuille flow
원형 단면의 도관을 통과하는 정성 층류(레이놀즈
수사 작은 경우).
레이놀즈, Reynolds number
흐름의 특성을 표시하는 무차원량의 하나로서, 흐름
을 특징지우는 대표적인 길이(보기를 들면, 관의 지름)
흐름의 속도, 기체의 밀도, 기체 정도의 함수.
분자류, molecular flow
기체분자의 평균 자유행정이 도관 단면의 최대치수
보다도 충분히 큰 경우(크누센수가 큰 경우)의 도관
내 기체의 흐름.
크누센 수, Knudsen number
흐름의 특성을 표시하는 무차원량의 하나로서, 흐름
을 특징지우는 대표적인 길이(보기를 들면, 관의 지름)
에 대한 분자의 평균 자유행정의 비.
중간류, intermediate flow
정성층류와 분자류의 증간 조건 하에 있는 도관 내의
기체의 흐름.
분자 분류, molecular effusion
두께를 무시할 수 있는 오리피스에서 기체 분자의
평균 자유행정이 오리피스 개구의 최대 치수보다 충분
히 큰 경우의 기체의 흐름.
열천이, 서멀 트랜스피레이션, thermal transpiration
온도가 다른 2개의 용기가 도관으로 연결되어 있는
경우 분자류 영역에서 압력차가 생기는 형상.
분자유량, 분자속, molecule flow rate, molecule flux
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체분자
의 순수 수.
분자유량 밀도, molecule flow rate density
단위면적 당 분자 유량. 단위기호: m-2·s-1.
(기체의) 유량, throughput
도관의 어느 단면 또는 오리피스를 단위시간에 통과
하는 pV 값.
질량 유량, mass flow rate
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체의
질량.
체적 유량, volume flow rate
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체의
체적.
몰 유량, molar flow rate
공간 내의 어떤 면을 단위시간에 통과하는 기체의
몰수.
맥스웰의 속도분포, Maxwellian velocity distribution
어떤 온도에서 열 평형에 있는 기체를 구성하는
분자의 속도분포.
통과확률, 클라우징 계수, transmission probability,
Clausing factor.
도관 입구에 입사한 분자가 출구를 통과하는 확률.
컨덕턴스, conductance
유량을 오리피스의 양쪽, 도관 등의2개 단면에서의
압력차로 나눈 양. 이 때, 등온조건을 가정하고 있다.
흡수, absorption
기체 또는 증기분자가 고체 또는 액체의 내부에
들어가는 형상. 여기서 기체 또는 증기분자를 흡수질,
(absorbate), 고체 또는 액체를 흡수매(absorbent)라 한다.
흡착, adsorption
기체 또는 증기분자(흡착질)가 고체 또는 액체
(흡착매) 표면에 머물고 있는 형상.
물리 흡착, physical adsorption, physisorption
화학결합을 수반하지 않은 물리적인 힘에 의한 흡착.
화학물리 흡착, chemical adsorption, chemisorption
화학결합을 수반하는 흡착.
수착, sorption
고체 또는 액체(수착매)에 의한 기체 또는 분자
(수착질)의 취입. 흡착 및 흡수의 2개 현상을 포함
하고 있다.,
열적응 계수, accommodation coefficient
입사입자와 표면 사이의 열에너지 주고 받음 정도를
나타내는 계수. 실제로 주고 받는 평균 에너지와 입사
입자가 표면과 열평형에 도달하여 표면에서 공간으로
되돌아온다고 가정한 경우에 주고 받게 되는 평균
에너지의 비.
입사빈도, impingement rate
표면의 단위 면적 당 단위시간에 입사하는 분자의 수.
입사속도, impingement rate
표면의 단위 면적 당 단위시간에 입사하는 물질의 양.
응축속도, condensation rate
표면의 단위면적 당 단위시간에 응축하는 분자의 수,
또는 물질의 양.
응축계수, condensation coefficient
응축속도와 입사빈도 또는 입사속도의 비. 무차원량
이다.
부착속도, sticking rate
표면의 단위면적 당 단위시간에 화학흡착되는 분자의
수 또는 물질의 양.
부착확률, sticking probability .
부착속도와 입사빈도 또는 입사속도와의 비. 무차원
량이다.
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(평균) 체류시간, (평균) 체류시간, residence time.
분자가 표면에 흡착상태에서 속박되어 있는 시간의
평균.
표면 이동, migration
표면상에서 분자의 이동.
이탈, desorption
수착 되어 있던 기체 또는 증기분자의 방출.
기체 방출, outgassing
물질로부터의 기체의 방출.
탈 가스, degassing.
인위적인 조작에 의한 물질로부터의 기체의 방출.
증발속도, evaporation rate
표면의 단위명적에서 단위시간에 증발하는 분자의 수
또는 물질의 양.
기체방출 속도, outgassing or desorption or degassing rate
물질의 단위 표면적에서 단위시간에 방출되는 pV값
또는 분자의 수.
투과, permeation
기체가 흡착, 용해, 확산, 이탈 등에 근거하여 고체 내를 통과하는 현상.
2.2 진공 펌프 및 관련 용어
진공 펌프, vacuum pump
진공을 만들거나 또는 유지하기 위한 기기.
용적 이송식 진공펌프, positive displacement pump
피스톤, 로터, 날개판, 밸브 등의 기계적 부분에 의해
분리된 공간에 짜 넣어진 기체를 이 계의 주기운동에
따라 수송하는 펌프. 대부분의 펌프는 기체의 압축
과정을 가진다. 비고 용적 이송식 펌프는 왕복 운동
식 및 회전식의 2가지로 대변한다.
피스톤 진공펌프, piston vacuum pump
실린더 내에서의 피스톤 왕복운동에 의해 기체수송을
하는 용적 이송식 진공펌프.
액밀봉 진공펌프, liquid ring vacuum pump
다수의 날개를 가진 편심 로터의 회전에 의해 액체를
스테이터 내벽에 눌러서 실을 하여 기체를 수송하는
용적 이송식 진공펌프.
기름회전(진공)펌프, oil-sealed rotary vacuum pump
기름에 의해 로터, 스테이터, 날개판 등의 부품
사이의 기밀 및 무효 공간의 감소를 꾀하는 용적 이송
식 진공펌프.
회전 날개형 기름회전펌프, sliding vane rotary vacuum pump
용수철로 항상 스테이터를 누르고 있는 2매 또는 그
이상의 날개판을 가진 로터의 회전에 의해 날개판,
로터 및 스테이터로 둘러 싸인 공간의 용적을 변화
시켜서 기체를 수송하는 용적 이송식 진공펌프.
회전 날개형 기름 회전펌프의 원리도
① 스테이터, ② 로터, ③ 날개판, ④ 스프링
⑤ 밸브
캠형 기름회전(진공)펌프, rotary piston vacuum pump
편심 로터(캠)가 스테이터에 붙어 있는 섭동 날개
판에 의해 늘려지면서 회전하고 날개판, 로터 및
스테이터로 둘러싸인 공간의 용적을 변화시켜서 기체를 수송하는 용적 이송식 진공펌프.
캠형 기름 회전펌프의 원리도
① 스테이터, ② 편심 로터(캠), ③ 섭동날개판
④ 스프링 ⑤ 밸브
요동피스톤형 기름회전펌프, rotary plunger vacuum pump
스테이터 기밀부를 섭동하는 플런저에 고정된 원통
의 외면이 편심 로터의 회전에 의한 플런저의 상하 목
흔들기 운동에 따라 스테이터 내면을 섭동하고 플런저
원통 및 스테이터로 둘러싸인 공간의 용적을 변화
시켜서 기체를 수송하는 용적 이송식 진공펌프.
요동 피스톤형 기름 회전펌프의 원리도
① 스테이터, ② 편심 로터, ③ 플런저
④ 스테이터 기밀부, ⑤ 밸브
루트(진공)펌프, Roots vacuum pump
펌프 케이스 속을 서로 반대방향으로 회전하는
한 쌍의 누에고치 로터에 의해 기체를 수송하는
용적 이송식 진공펌프.
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가스 밸러스트 (진공)펌프, gas ballast (vacuum) pump
적당량의 기체를 압축과정에서 펌프 내에 도입하고
펌프 내부에서 응축성 기체가 응축하지 않도록 한
용적 이송식 진공펌프.
건식 회전(진공)펌프, dry-sealed vacuum pump
기름이나 액체를 사용하지 않고 기밀을 유지한
용적 이송식 진공펌프.
운동량 수송식 진공펌프, kinetic vacuum pump
기체에 특정 방향의 운동량을 주어서 연속적으로
기체를 운송하는 진공펌프. 유체작동 방식과 기계적
방식의 2가지로 대별한다.
터보(형) 진공펌프, turbine vacuum pump
고속 회전하는 로터로 대량의 기체를 수송
하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성류 영역에서
유효하게 작동한다.
분자 펌프, molecular drag pump
고속회전하는 로터에 의해 그 표면에 충돌한 기체
분자에 운동량을 주어서 기체를 수송하는 운동량 수송
식 진공 펌프. 분자류 영역에서 유효하게 작동한다.
터보 분자펌프, turbo molecular pump
축류 터빈형 날개를 가진 로터 및 스테이터로 이루
어진 분자펌프.
이젝터 (진공)펌프, ejector vacuum pump
고속으로 분출하는 작동유체의 소용돌이 작용에 의해
기체를 수송하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성류
또는 중간류 영역에서 유효하게 작동한다.
물 이젝터(펌프), liquid jet vacuum pump
작동유체가 액체(통상은 물)인 이젝터 진공펌프.
공기 이젝터(펌프), gas jet vacuum pump
작동유체가 비 응축성 기체(통상은 공기)인 이젝터
진공펌프.
증기 이젝터(펌프), vapour jet vacuum pump
작동유체가 증기(수증기.수은증기,기름증기 등)인
이젝터 진공펌프.
확산 펌프, diffusion pump
증기분류 중에 확산된 기체분자에 증기분자가 운동량을 줌으로써 기체를 수송하는 증기분자 진공펌프.
비고 작동증기로서는 일반적으로 기름 또는 수은증기
가 이용되며 기름 확산펌프, 수은 확산펌프라 불린다.
확산 이젝터 펌프, diffusion ejector pump
확산펌프로서 작용하는 노즐과 이젝터 펌프로서 작용
하는 노즐을 가진 다단식 증기분자 진공펌프.
분류형 기름 확산펌프, fractionating diffusion pump
펌프 작동액의 분류가 이루어져 고진공 쪽 노즐에는
저증기압 성분이, 저진공 쪽 노즐에는 고증기압 성분이 공급되는 다단식 기름 확산펌프.
자기 정화형 기름 확산펌프, self purifying diffusion pump
펌프 작동액의 분해 등에 따른 불순물이 보일러에
되돌아오는 것을 방지하는 기름확산펌프.
증기분사 (진공)펌프, vapour pump
증기의 분류로 배기작용을 하는 운동량 수송식 진공
펌프. 분류의 배기작용 기구에 따라 증기 제트진공
펌프 및 확산펌프의 구별이 있다.
기체 저장식 진공펌프, entrapment vacuum pump
표면에서의 수착 또는 응축 등에 의해 기체분자를
포착하고 저장함으로써 배기작용을 하는 진공펌프.
흡수(수착) 펌프, adsorption pump
단위질량 당 참 표면적이 큰 물질(보기를 들면, 다공질 물질)의 수착작용을 이용하는 기체 저장식 진공펌프.
게터 펌프, getter pump
게터 작용(즉, 화학적으로 활성인 고체표면의 수착
작용)을 이용하는 기체 저장식 진공펌프.
서블리메이션 펌프, sublimation pump
연속 또는 비연속적인 승화, 증발에 의해 작성된
게터작용을 가진 면(게터면)을 이용하는 게터 펌프.
게터 이온 펌프, getter ion pump
전계, 자계 중에서 기체분자의 여기, 이온화 등을 이용하는 게터 펌프.
증착 이온 펌프, evaporation ion pump
연속 또는 비연속적인 승화,증발에 의해 게터면을
갱신하는 이온 펌프.
스퍼터 이온 펌프, sputter ion pump
음극 스퍼터링에 의해 게터면을 갱신하는 게터 이온
펌프.
크라이오 펌프, cryopump
기체분자를 극저온면에 응축 또는 수착 시켜서 포착
하는 기체 저장식 진공펌프.
크라이오 솝션 펌프, cryosorption pump
수착을 주된 배기작용으로 하는 크라이오 펌프.
펌프 케이스(케이싱), pump case
펌프의 작동부분이 들어 있는 용기.
흡기 구, inlet
펌프의 기체 흡입 구.
배기 구, outlet
펌프의 기체 토출 구.
날개 판, 베인, blade, vane
용적 이동식 진공펌프에서 스테이터와 로터 사이의
공간을 구분하는 섭동 판.
방출 밸브, discharge valve
용적 이동식 진공펌프에서 압축된 기체를 방출시키기
위한 자동 밸브.
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펌프 기름, vacuum pump oil
진공펌프에서 윤활, 냉각, 기밀 도는 무효공간의
감소를 위하여 사용하는 기름.
펌프 작동액, pump fluid
증기분사 진공펌프의 작동용 액체.
노즐, nozzle
증기분사 진공펌프에서 작동유체의 흐름을 정리하여
증기분류를 형성함으로써 배기작용을 얻기 위한 부품.
노즐의 목, nozzle throat
노즐의 최소 단면적 부분.
노즐의 틈새, nozzle clearance
노즐 주위 테두리와 펌프 케이스 내벽의 최소 간격.
노즐의 틈새 면적, nozzle clearance area
노즐 틈새의 면적.
증기 분류, jet
증기분사 진공펌프에서 노즐로부터 분사하는 작동
유체의 급격한 흐름.
디퓨저, diffuser
이젝터 진공펌프의 노즐 앞면에 배치되어 있는
원추모양의 수렴부 및 거기에 이어지는 목, 발산부
(벤투리)의 총칭.
디퓨저의 목, diffuser throat
디퓨저의 최소 단면적 부분.
증기 도관, 침니, vapour tube, vapour pipe
증기분사 진공펌프에서 증기를 보일러부터 노즐로
유도하는 도관.
노즐 어셈불리, nozzle assembly
증기분사 진공펌프에서 노즐과 증기도관으로 이루어
어진 부분.
트랩, trap
필요한 컨덕턴스를 확보하면서 바람직하지 않은
기체, 증기의 분압을 물리적 또는 화학적 방법으로
감소시켜 그 흐름이나 이동을 감소시키기 위한 장치.
냉각 트랩, cold trap
냉각면에서의 응착작용을 이용하는 트랩.
수착 트랩, sorption trap
수착작용을 이용하는 트랩.
배플, baffle
증기분자 진공펌프의 흡기구 및 배기구에 부착되어
작동액 증기의 역류 및 유출을 막기 위한 차폐 판.
기름 분리기, oil separator
진공펌프의 배기구에서 기체와 함께 수송되는
펌프 기름의 손실을 감소시키기 위한 장치.
기름 순화기, oil purifier
펌프 기름에서 여러 가지 오염물질을 제거하기 위한
장치.
주 펌프, main pump
진공계를 작동압력까지 배기하고 그 압력을 유지하기
위한 진공펌프.
보조 펌프, backing vacuum pump
다른 펌프의 압력을 임계치 이하로 유지하기 위한
진공펌프.
러핑 진공펌프, roughing vacuum pump
대기압에서 주펌프가 작동해지는 압력까지 진공계를
배기하기 위한 進공펌프
배압 유지 펌프, holding vacuum pump
주펌프의 가스 부하가 작은 경우, 정규의 보조 펌프
대신에 주펌프의 배압을 유지하기 위하여 사용하는
보조 펌프.
고진공 펌프, high vacuum pump
고진공 영역에서 작동하는 진공펌프.
저진공 펌프, rough(or low) vacuum pump
저진공 영역에서 작동하는 진공펌프.
부스터(진공)펌프, booster vacuum pump
중간압력 영역에서의 배기량을 증가시키든가 또는
배기계 각 부의 단계적 압력분포를 개선하여 보조펌프
에 대한 체적유량을 감소시키기 위하여 주펌프와 보조
펌프 사이에서 사용하는 진공펌프.
고진공 유지펌프, appendage vacuum pump
배기된 용기내의 압력을 저압으로 유지하기 위하여
주펌프 대신에 사용되는 보조적인 진공펌프.
펌프의 배기량, throughput of a vacuum pump
펌프의 환기구를 통과하는 기체의 유량.
펌프의 배기속도, pumping speed
펌프의 체적유량, volume flow rate of a vacuum pump
펌프의 흡기구를 통과하는 기체의 체적유량.
흡입압, inlet pressure
펌프 흡기구에서의 압력.
최대 흡입압, maximum working pressure
증기분자 진공펌프가 정상적인 기능을 유지할 수
있는 흡입압의 최대치.
배압, backing pressure
기체를 대기압 이하의 압력 공간으로 배출할 경우
진공펌프 배기구에서의 압력.
임계 배압, critical backing pressure
증기분사 또는 증기분류 진공펌프가 정상적인 기능을
유지할 수 있는 최대의 배압.
비고 펌프의 배기량에 관계하는 값.
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시동 압력, starting pressure
진공펌프가 손상되지 않고 시동되며 또한 정상적인
배기작용을 얻을 수 있는 압력.
도달 압력, ultimate pressure of a pump
기체를 도입하지 않고 펌프를 장시간 작동시켜 압력
의 감소를 거의 무시할 수 있게 되었을 때의 압력.
압축비, compression ratio
펌프에 기체를 유입했을 때의 배압 증가 분을 흡입압
의 증가 분으로 나눈 값.
역확산, back diffusion of gas
진공펌프의 작동상태에서 펌프의 배기구에서 환기구
로 향하는 기체의 이동.
역류, back streaming
진공펌프의 흡기구를 통하여 고진공 쪽으로 향하는
펌프 작동액 증기 또는 펌프기름 증기의 이동.
역이동, back migration
진공펌프의 작동액 분자가 용기의 벽면상에서의
재증발 및 표면확산에 의하여 고진공 쪽으로 이동하는
형상.
2.3 진공계 및 관련 용어
압력계, pressure gauge
기체,증기의 압력을 측정하는 계기.
진공계, vacuum gauge
기체,증기의 대기압보다 낮은 압력을 측정하는 계기.
대부분의 경우, 측정자와 제어 계측부로 구성된다.
참고, 보통 사용되고 있는 진공계는 이 규격에 규정
하는 의미의 압력을 집적적으로는 측정하지
않고 특정조건 하에서 압력에 관련된 다른
물리량을 측정하는 것이 많다.
측정자, gauge head
진공계에서 감압기능을 갖추고 진공계에 부착되는
진공계의 구성부품.
나진동계(측정자), nude gauge
측정자에 직접 삽입되는 감압소자를 갖춘 외위기가
없는 측정자.
제어 계측부, gauge control unit
축정자를 작동시켜 계측하는 진공계의 구성 부품.
절대 진공계, absolute vacuum gauge
다른 진공계를 참조하지 않고 또 기체의 종류에 관계
없이 물리량의 측정만으로 압력이 구해지는 진공계.
차압 진공계, differential vacuum gauge
가요막 도는 액기둥과 같은 압력차를 감지하는 격리
매체를 이용하여 그 양쪽에 걸리는 압력차를 측정하는
진공계.
전압계, total pressure vacuum gauge
기체의 전압을 측정하는 진공계.
분압계, partial pressure vacuum gauge
진공분석계, partial pressure analyzer
혼합기체 성분의 분압을 측정하는 진공계.
참고, 현재 사용되고 있는 분압진공계의 대부분은
질량 분석계의 일종이다.
감도, sensitivity
어떤 압력일 때 진공계에 지시된 눈금의 변화와
상당 하는 압력변화의 비.
비감도, relative sensitivity factor
진공계의 어떤 기체에 대한 감도와 그 진공계의
동일 조건 하에서 동알 압력의 질소에 대한 감도의 비.
(전리 진공계의) 감도 계수, ionization gauge coefficient
주어진 기체에 대하여 전리진공계의 정해진 동작
조건 하에서의 이온전류를 이온화를 위한 전자전류와
압력의 곱으로 나눈 것.
질소 상당압(환산치), equivalent nitrogen pressure
진공계의 눈금과 같은 지시를 주는 질소의 압력.
X선 한계, X ray limit
열음극 전리진공계에서 주로 집이온 전극으로부터
방출되는 광전자 전류에 대응하는 질소 상당압.
액주차 진공계, liquid level manometer
격리 매체로서 액기둥을 이용하는 차압 진공계.
U자판 진공계, U tube manometer
U자판을 이용하는 액주차 진공계.
탕성 진공계, elastic element gauge
탕성체(판, 관 등)를 격리매체로 한 차압 진공계.
격막 진공계, diaphragm gauge
가요 격막을 이용하여 압력공간을 구분하는 탄성
진공계.
부르동관 진공계, Bourdon gauge
가요 격막으로서 부르동관을 사용하는 탄성 진공계.
압축 진공계, compression gauge
기체를 이미 알고 있는 비율로 압축하고 그 압력을
측정하여 압축 전의 압력을 구하는 진공계. 비고,
보일의 법칙을 적용할 수 있는 경우에만 사용한다.
맥로드 진공계, Mcleod gauge
수은주를 이동함으로써 기체를 압축하여 그 기체의
압력을 액주차에 의해 구하는 압축 진공계.
점성 진공계, viscosity gauge
저압 기체의 점성력이 기체의 압력에 의존하는 것을
이용하여 물체 표면에 작용하는 점성력의 변화를 계축
하여 압력을 구하는 진공계.
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열전도 진공계, thermal conductivity gauge
저압 기체의 열전도가 기체의 압력에 의존하는 것
을 이용하여 소자의 온도변화를 계측하여 압력을 구
하는 진공계.
피라니 진공계, Pirani gauge
가열되어 있는 소자가 금속 가는 선이며 그 전기
저항이 온도에 따라 변화하는 것을 이용하는 열전도
진공계.
써미스터 진공계, thermister gauge
가열되어 있는 소자가 써미스터이며 그 전기저항이 온도에 따라 변화하는 것을 이용하는 열전도진공계.
크누센 진공계, Knudsen gauge
기체분자의 평균 자유행정에 비하여 아주 작은 간격
을 유지하며 배치되고 또한 다른 온도로 유지되고 있는 2면 사이에서의 운동량 수송속도를 측정함으로써
압력을 구하는 진공계.
전리 진공계, ionization vacuum gauge
전리에 의해 기체 중에서 생성된 이온 전류를 측정
하여 압력을 구하는 진공계,
냉음극 전리진공계, cold cathode ionization gauge
냉음극 방전에 의한 기체의 전리를 이용하는 전리
진공계.
페닝 진공계, Penning gauge
한 쌍의 평행 평판 음극사이에 고리모양 양극을 놓고
그들 측에 평행으로 자계를 거는 냉음극 전리진공계.
냉음극 마그네트론 진공계, cold cathode magnetron
gauge
같은 측 원통모양의 전극을 배치하고 전계에 수직으로 자계를 거는 냉음극 전리진공계.
가이슬러관, discharge tube indicator
한 쌍의 전극을 가지며, 그 사이의 진공방전 � 및
모양에 따라 기체의 압력 및 종류의 개략을 나타내는
투명한 유리관구.
열음극 전리진공계, hot cathode ionization gauge
열음극으로부터 방출된 전자에 의해 기체를 전리하는
전리진공계.
3극관형 전리진공계, triode ionization gauge
통상의 3극관 구조를 가진 열음극 전리진공계.
필라멘트를 관의 축 위에 놓고 그리드 및 플레이트를
필라멘트와 동축적으로 배치하여 각각을 집전자 전극
및 집이온 전극으로 한 것.
베이아드-알퍼트(B-A)진공계, Bayard – Alpert gauge
원통모양 그리드의 바깥쪽에 열음극을 또 축 위에
가는 선의 집이온 전극을 배치하여 X선 한계를 저하
시키는 초고진공 용 열음극 전리진공계.
모듈레이터 진공계, modulator gauge
모듈레이터로서의 보조 전극을 설치하여 그 전위변화
에 의한 집이온 전극전류의 변화를 축정하고 잔류전류
의 영향을 예상할 수 있도록 한 베이야드-알퍼트 진공계
익스트랙터 진공계, extractor gauge
실드에 둘러싸인 집이온 전극을 원통모양 그리드의
축을 따라 그 바깥쪽에 놓음으로써 X선 한계를 저하
시키는 초고진공용 열음극 전리진공계.
서프레서 진공계, suppressor gauge
서프레서 전극을 집이온 전극의 근처에 설치하여 집
이온 전극으로부터의 2차 전자방출 영향을 억제함과
동시에 X선 한계를 저하시키는 초고진공용 열음극
전리진공계.
만곡 빔 진공계, bent beam gauge
이온이 전리영역에서 정전 편향기로 인출되는 초고
진공용 열음극 전리진공계.
열음극 마그네트론 진공계, hot cathode magnetron gauge
단순한 원통모양 마그네트론 구조를 가진 초고진공용
열음극 전리진공계.
고주파 질량분석계, radio frequency mass spectrometer
일련의 그리드에 의해 정부 교대로 형성된 고주파
전계에 의해 이온을 선택적으로 가속하여 분리하는
질량분석계 형 부분압 진공계.
4극자(4중극) 질량분석계, quadrupole mass spectrometer
4개의 기둥모양 전극에 의해 형성된 직류분을 포함
하는 고주파 쌍곡선형 전계에 의해 이온을 분리하는
질량분석계 형 부분압 진공계.
자계편향 질량분석계, magnetic deflection mass spectrometer
정전계에서 가속된 이온의 궤도를 자계에서 편향함으로써 이온을 분리하는 질량분석 형 부분압 진공계.
트로코이드 질량분석계, trochoidal focusing mass
spectrometer
직교한 정전계 및 정자계 중에서 이온의 궤도가
트로코이드 형으로 되는 것을 이용하여 이온을 분리
하는 질량분석계 형 부분압 진공계.
오메가트론 질량분석계, omegatron mass spectrometer
직교한 정전계 및 정자계 중에서 이온의 사이클로트론 공명현상을 이용하여 이온을 분리하는 질량분석계 형 부분압 진공계.
비행시간 질량분석계, time of flight mass spectrometer
같은 운동 에너지를 가진 이온의 비행속도가
질량에 의존하는 것을 이용하여 이온을 분리하는
질량분석계 형 부분압 진공계.